當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時，把離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面，這個現(xiàn)象叫做濺射；而當離子束射到固體材料時，從固體材料表面彈了回來，或者穿出固體材料而去，這些現(xiàn)象叫做散射；另外有一種現(xiàn)象是，離子束射到固體材料以后，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來，并終停留在固體材料中，這一現(xiàn)象就叫做離子注入。

離子注入技術(shù)原理：

　　是近30年來在國際上蓬勃發(fā)展和廣泛應(yīng)用的一種材料表面改性高新技術(shù)，其基本原理是：用能量為100keV量級的離子束入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理的和化學(xué)的相互作用，入射離子逐漸損失能量，終停留在材料中，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化，從而優(yōu)化材料表面性能，或獲得某些新的優(yōu)異性能。此項高新技術(shù)由于其獨特而突出的優(yōu)點，已經(jīng)在半導(dǎo)體材料摻雜，金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應(yīng)用，取得了巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。

　　離子注入作為微電子工藝中重要的摻雜技術(shù)，在優(yōu)化材料表面性能方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。離子注入工藝對材料的高溫性能和耐化學(xué)侵蝕性能要求非常高，因此，電離室主要部件均采用由鎢、鉬或石墨材料。盟昌對離子注入行業(yè)用鎢鉬材料進行生產(chǎn)研發(fā)，擁有穩(wěn)定的生產(chǎn)工藝和豐富的經(jīng)驗。

　　盟昌金屬材料為您提供優(yōu)質(zhì)的離子注入應(yīng)用材料。